近日,华南PECVD 等微观加工设备研发制造 ,及生投资约 10 亿元 ,产基
中微公司华南总部研发及生产基地总体规划用地约 130 亩,地期测试 、封顶板级封装等新兴泛半导体装备赛道 。广州公司整体规划总投资 30 亿元。